中试生产8英寸石墨烯晶圆中科院上海微系统所实验室预计9月完成建设

2026-04-09 05:20分类：科技前沿阅读：

据上观新闻指出，中科院上海微系统所创新实验室正在加紧建设，计划今年9月完成实验室建设，中试生产8英寸石墨烯单晶晶圆等多种产品。

2019年9月，中科院上海微系统所与上海市石墨烯功能型平台签约合作，由后者的创新实验室承担中试工作，扩大石墨烯晶圆等产品的生产规模。通过建设创新实验室，实现8英寸石墨烯单晶晶圆、4英寸锗基石墨烯晶圆、大面积六方氮化硼介质薄膜的中试生产。

据中科院上海微系统所研究员吴天如表示，该研究所已经掌握了石墨烯单晶晶圆可控制备技术，实现了4—8英寸单晶的小批量生产。

中试生产8英寸石墨烯晶圆中科院上海微系统所实验室预计9月完成建设(图1)

根据消息称，中科院上海微系统所在国际上首次实现了半导体锗基石墨烯CVD（化学气相沉积）制备，研制出4英寸锗基石墨烯晶圆。迄今为止，中科院上海微系统所在石墨烯材料制备与器件应用领域已申请100余项专利，授权70余项，其中国际专利9项。

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