国内首台12英寸晶圆探针台研制成功

2026-04-28 10:37分类：科技前沿阅读：

不久前，中科院长春光机所旗下长春光华微电子设备工程中心有限公司（光华微电子）宣布研制成功国内首台商用12英寸全自动晶圆探针台。

这回研发成功的晶圆探针台产品，是半导体行业重要的检测装备之一，可将参数特性不符合要求的芯片记录下来，在进入后序工序前予以剔除，从而大幅度降低器件的制造成本。

国内首台12英寸晶圆探针台研制成功(图1)

探针台技术门槛较高，目前市场处于双强垄断态势，东京电子和东京精密两家日本公司占据了绝大部分市场份额。我国在探针台研制方面已有多年技术积累，产品以8英寸为主，光华微电子于2015年正式立项开展12英寸全自动探针台产品研发，先后突破了6项关键技术。今年，光华微电子推出的第一代产品机将在上海展出，并全面推向市场。

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